NF P61-302-1970 贴磁砖.大理石镶嵌方砖
作者:标准资料网 时间:2024-05-17 00:03:06 浏览:8571
来源:标准资料网
【英文标准名称】:Tiling.Marblemosaictiles.
【原文标准名称】:贴磁砖.大理石镶嵌方砖
【标准号】:NFP61-302-1970
【标准状态】:作废
【国别】:法国
【发布日期】:1970-06-01
【实施或试行日期】:1970-06-26
【发布单位】:法国标准化协会(AFNOR)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:Q21
【国际标准分类号】:97_150;91_100_15
【页数】:15P;A4
【正文语种】:其他
【英文标准名称】:Preparationofinstructions-Structuring,contentandpresentation(IEC62079:2001);GermanversionEN62079:2001
【原文标准名称】:说明书编写.结构、内容和表述
【标准号】:DINEN62079-2001
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2001-11
【实施或试行日期】:2001-11-01
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:准备;定义;定义;用户信息;文献工作;指导手册;信息;文献;使用说明;表示(法);操作说明书;合同同意;设置;设计;说明书;消费者与供货者的关系;电气工程
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:A00
【国际标准分类号】:01_110
【页数】:51P;A4
【正文语种】:德语
基本信息
| 标准名称： | 硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范 |
| 英文名称： | Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for KOH etch process |
| 中标分类： |
电子元器件与信息技术 >>
微电路 >>
微电路综合 |
| ICS分类： |
电子学 >>
集成电路、微电子学
|
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2012-05-11 |
| 实施日期： | 2012-12-01 |
| 首发日期： | 2012-05-11 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 提出单位： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 归口单位： | 全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336) |
| 起草单位： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所、重庆大学、东南大学、中国电子科技集团第四十九研究所、中机生产力促进中心 |
| 起草人： | 夏伟锋、熊斌、冯飞、戈肖鸿、周再发、李玉玲、贺学锋、田雷、刘伟 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2012-12-01 |
| 页数： | 12页 |
| 书号： | 155066·1-45572 |
适用范围
本标准规定了采用氢氧化钾腐蚀工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求。
本标准适用于氢氧化钾腐蚀工艺和管理。
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T26111—2010 微机电系统(MEMS)技术 术语
GB/T1031—2009 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
GB50073—2001 洁净厂房设计规范
所属分类： 电子元器件与信息技术 微电路 微电路综合 电子学 集成电路 微电子学
